等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。

　　等离子清洗机可用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染，防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射透射电镜和场发射扫描电镜。用这种低能高频等离子体清洗样品表面，不会改变样品元素成份和表面结构特征。

　　该清洗机具有H2，O2，Ar三组分通道。从而能够利用H2/02组分，可减小样品溅射损伤，还可对多孔碳膜进行无破坏的清洗。从而提高样品在低电压下的成像能力，在化学微量分析时提高其精度。无油真空系统：泵体部分由多级隔膜泵和超静音分子泵组成，真空度可达10E-4Pa等级，在保证真空度的同时，可在两分钟之内达到抽真空和放气过程；整个清洗过程在4分钟内可以完成。还可清洗大部分标准透射电镜样品杆以及扫描电镜样品载台及不规则样品，样品室直径>8cm，样品室高度>5cm。

　　等离子清洗机根据它用途的不同，可选用多种构造的清洗设备，并可通过选用不同种类的气体，调整装置的特征参数等方法使工艺流程实现，但等离子体清洗装置的基本结构大致是相同的。关于等离子清洗机的相关知识点就先说到这里了，这款产品还有很多的常识等着各位来发现与了解，如果您还想要了解更多内容，还请先关注好我们，小编会不定期在此跟大家分享更多的信息。