• 立式半自动晶圆烤胶系统

    1. 生产厂家:德国Osiris
    2. 产品型号:UNIXX He45

    UNIXX He45型热板是一款立式半自动烘焙系统,用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜...

    更新时间:2022-11-24

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  • 台式匀胶机

    1. 生产厂家:德国Osiris
    2. 产品型号:BASIXX SB20+

    BASIXX SB20 +是一款台式半自动匀胶机系统,功能强大,具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能,样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,广泛用于大学,研究所等科研实验室。...

    更新时间:2022-11-24

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  • 桌面型匀胶机

    1. 生产厂家:德国Osiris
    2. 产品型号:BASIXX ST20+

    BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统,性价比高,具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能,样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,广泛用于大学,研究所等科研实验室。...

    更新时间:2022-11-24

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  • 台式半自动匀胶烤胶系统(含热板)

    1. 生产厂家:德国Osiris
    2. 产品型号:BASIXX SH22

    BASIXX SH22是一款台式半自动匀胶机热板复合系统,功能强大,具有匀胶、清洗、显影、干燥、预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(h...

    更新时间:2022-11-24

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  • 半自动旋涂仪

    1. 生产厂家:德国Osiris
    2. 产品型号:UNIXX SA20/30

    UNIXX SA20/30半自动旋涂仪可提供出色的涂层均匀性和可重复性,特别是适用于薄涂层的旋涂,支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圆或者230mm*230mm的方片,并可配置用于旋涂、边缘...

    更新时间:2022-11-24

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  • 半自动旋涂系统(带CCP)

    1. 生产厂家:德国Osiris
    2. 产品型号:UNIXX SA20+/30+

    UNIXX SA20+/30+是一款带有 CCP(Covered Chuck Processor)模组的封闭式旋涂仪, 封闭式设计消除了旋涂区域中的所有湍流,用于厚的、负性抗蚀剂、聚合物、BCB 凸块...

    更新时间:2022-11-24

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