产品简介

UNIXX He45型热板是一款立式半自动烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。 

 产品特色

÷ 温度高达 300°C

÷ 电子驱动升降pin

÷ 支撑pin材料为不锈钢，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)

÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）

÷ 热板通过真空固定晶圆

÷ 热板盖手动控制

÷ 集成排烟装置

÷ 通过设置receip自动进行加热处理

n主要技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C

÷ 温度精度: < ±1°C@100°C 

÷ 支撑pin: Ø50 mm (Ø2”) ,最大可达 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝

÷ 加热盖材质: 不锈钢

n可选项

÷ 支撑pin材料

÷ 边缘支撑pin

÷ N2吹扫

÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）

÷ 600℃热板

÷ 真空泵