产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40（CF40）

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz 射频电源，射频功率 5-150W 可调

远程等离子源，自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源 / 功率

AC220V，50/60Hz，300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器，   氢气纯度﹥ 99.999％，输出流量 0-500SCCM

质量保证

二年质保，终身维护

产品尺寸

L320xW385xH465mm

包装尺寸

L440xW535xH725mm

整机重量

25